Ar-O2 RF Plasma diagnosis by mass spectrometry Vezi publicația: Romanian Reports in Physics Anul publicaţiei: 2002Referinţă bibliografică pentru nr. revistă: 54-6-10; anul 2002 Paginaţia: 295-300 Navigare în nr. revistă: |< < 2 / 29 > >| Realizatori:  RUSU, I. (autor), POPA, G. (autor), SULLIVAN, I. (autor) Descriptori:  fizică