Plasma etching device for microelectronic circuit Vezi publicația: Revue Roumaine de Physique Anul publicaţiei: 1984Referinţă bibliografică pentru nr. revistă: 29-2; anul 1984 Paginaţia: 203-206 Navigare în nr. revistă: |< < 9 / 16 > >| Realizatori:  MUSTAȚĂ, I. (autor), BEȚIU, N. (autor), CRISTEA, G. (autor), LUNGU, G. (autor), MUSA, G. (autor) Descriptori:  fizică