Criterii căutate
- Tip publicație: periodic
- Realizator: TIMCU, A.
Sumarul căutării
- 1 articol
Tip | Anul | Publicație și Volum/Nr. | Realizatori | Titlul articolui | Secțiunea | Pagina | Limba | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
articol de periodic | 2004 | Romanian Journal of Physics, 49-9-10 | LOGOFĂTU, P. (autor) , APOSTOL, D. (autor) , DAMIAN, V. (autor) , NASCOV, V. (autor) , GAROI, F. (autor) , TIMCU, A. (autor) , IORDACHE, Iuliana (autor) | Sensitivity-optimized scatterometry for nanolithography | 909-917 |